低溫等離子滅菌器的出現解決了原來滅菌器范圍受限的問題，給醫院及特殊場合的使用帶來了便利，它的滅菌范圍是：
金屬材料
不銹鋼、鋁、銅、鈦等大多數金屬。
非金屬材料
玻璃、聚乙烯、乳膠、聚碳酸脂、聚乙炳、硅膠、特富龍、氯丙烯、聚苯乙烯、聚氯乙烯等。
器械類
軟、硬式內窺鏡，內窺鏡設備，激光機頭，食道擴張器，冷療探子，動力設備和電池，剃刀機頭，超聲波探頭，光學纖維及起搏線導線，纖維光纜，電子設備和導線，金屬器械，玻璃器皿。
不適合低溫等離子滅菌器的有：
內徑小于1mm，長度大于500mm不銹鋼管狀器械吸濕材料（一次性防水織物、一次性手術服等）液體或粉末，不完全干燥的物品，一端閉塞的內腔。